S202210259077
集成电路制程中铜钴化学机械抛光后清洗液制备和性能研究
创新训练项目
上海应用技术大学
一年期
理学
化学类
2022-04-20
姓名 专业班级 所在学院 项目中的分工 成员类型
吴兆键 第一主持人
段欣雨 成员
王浩宇 成员
姓名 职称 指导教师类型
万传云 教授 第一指导教师